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多功能溅射仪

 

型      号:SPC-350

主要性能:个独立控制靶(1个直流+2个射频);10-4Pa真空;800℃基片加热;3路进气口;

                基片旋转(100转/分钟)

用      途:可进行各种金属、合金、陶瓷材料溅射镀膜,特别是进行可变成分混合膜,

               多层膜和梯度膜的制备;

联 系 人:李戈扬

联系电话:021-34202261

房 间 号:材料D楼213