实验装备

纳米离子减薄透射电镜制样系统

型号:Fishione 1040

性能指标:(1)超低能量惰性气体离子源。能量50 eV- 2K eV; (2)电磁聚焦离子束,具备扫描能力。最小束斑直径1μm2kV(3)最大束流1 mA/cm2(4)离子束刻蚀倾角-10°~ +10°(5)可在室温或低温模式(最低至-170 ℃)工作

用途:高精度透射电镜制样

联系人:郭强

联系电话:021-34202524

房间号:材料D122